Regime stabilizzato (12)
Durante la condizione di regime stabilizzato (12), il sistema effettua un controllo della portata del refrigerante, pressioni del gas, temperature e corrente dei frazionatori. Esegue anche un controllo del segnale Avvio Plasma da rimuovere per il processo selezionato.
Il regime stabilizzato (12) usa il processo inviato in precedenza dall'operatore (sfondamento, marcatura o taglio).
Se lo stato di regime stabilizzato (12) termina correttamente, il processo continua con Stato di chiusura graduale (13).
Consultare Passaggi di ispezione iniziali per le procedure di risoluzione guasti.
