ガスのリークテストを行う
切断システムのガス漏れが疑われる場合は、コンピュータ数値制御 (CNC) 画面または XPR® web インターフェイスで自動ガスリークテストを行います。
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Core™ と CorePlus™ も含め、すべてのガス接続コンソールでガスリークテストを行うことができます。
注:
推奨される圧力と流量については、すべてのガス接続コンソール対象プロセスガス要件 を参照してください。
XPR web インターフェイスのガスリークテスト
XPR web iインターフェイスで、GAS LEAK TEST (ガスリークテスト) を選択した場合:
- GAS LEAK TEST (ガスリークテスト) ボタンが赤色で強調表示され、アクティブでテストが開始されたことを示します。
- アクティブなバルブは色付きのハイライトで示されます。
- ライン A、ライン B、およびシールドで示されるガスは、プロセス ID によって異なります。ライン A (黒) とライン B (黄色) のガスリークテストは実行できますが、シールドガスライン (青色) のガスリークテストは実行できません。
- 同じボタンまたはテストを中断する別のボタンを選部まで ガスは 60 秒間流れます。
- XPR web インターフェイスでガスリークテストを完了したら、LOG (ログ) ボタンを選択してテスト結果を確認します。
- テストが正常に終了したかどうかが Log (ログ) 画面に表示されます。
- テストが正常に終了しなかった場合は、Log (ログ) 画面で障害を特定する情報を調べます。
- Log (ログ) 画面の情報を使用して、システムの配線図からガス漏れの場所を見つけます。
