ガスのリークテストを行う

切断システムのガス漏れが疑われる場合は、コンピュータ数値制御 (CNC) 画面または XPR® web インターフェイスで自動ガスリークテストを行います。

CoreCorePlus も含め、すべてのガス接続コンソールでガスリークテストを行うことができます。

注:

推奨される圧力と流量については、すべてのガス接続コンソール対象プロセスガス要件 を参照してください。

  1. CNC 画面または XPR web インターフェイスを使って自動ガスリークテストを行うコマンドを選択します。

    結果はエラーログに表示されます。

    これを行う方法に関する情報については、ご使用の CNC の取扱説明書を参照してください。

  2. ガスリークの診断とトラブルシューティングに関する情報については、エラーログを参照してください。

XPR web インターフェイスのガスリークテスト

XPR web iインターフェイスで、GAS LEAK TEST (ガスリークテスト) を選択した場合:
  1. GAS LEAK TEST (ガスリークテスト) ボタンが赤色で強調表示され、アクティブでテストが開始されたことを示します。
  2. アクティブなバルブは色付きのハイライトで示されます。
  3. ライン A、ライン B、およびシールドで示されるガスは、プロセス ID によって異なります。ライン A (黒) とライン B (黄色) のガスリークテストは実行できますが、シールドガスライン (青色) のガスリークテストは実行できません。
  4. 同じボタンまたはテストを中断する別のボタンを選部まで ガスは 60 秒間流れます。
1. XPR web インターフェイスのガスリークテスト
web インターフェイスの GAS LEAK TEST (ガスリークテスト) ボタン
  • XPR web インターフェイスでガスリークテストを完了したら、LOG (ログ) ボタンを選択してテスト結果を確認します。
  • テストが正常に終了したかどうかが Log (ログ) 画面に表示されます。
  • テストが正常に終了しなかった場合は、Log (ログ) 画面で障害を特定する情報を調べます。
  • Log (ログ) 画面の情報を使用して、システムの配線図からガス漏れの場所を見つけます。