Risoluzione dei problemi di corrente bassa
Codici diagnostici 550, 552 – 554
I codici diagnostici 550 e 552 – 554 segnalano un problema di riduzione di corrente nel generatore di plasma.
Sintomi
| Codice | Sintomi | Modelli XPR® | Azione XPR | Cancellazione del codice con... |
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| 550 | Per un minimo di 10 millisecondi durante una condizione di regime stabilizzato, la corrente totale scende a meno del 50% del punto di regolazione della corrente, e il punto di regolazione è superiore al punto di regolazione per quel processo (i punti di regolazione variano in base al tipo di processo). | Tutti i modelli | Fine del ciclo |
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| 552 | La corrente del frazionatore elettronico 1 è inferiore del 50% rispetto al punto di regolazione per almeno 50 millisecondi, e il punto di regolazione è superiore a 10A. | Tutti i modelli | Fine del ciclo |
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| 553 | La corrente del frazionatore elettronico 2 è inferiore del 50% rispetto al punto di regolazione per almeno 50 millisecondi, e il punto di regolazione è superiore a 10A. | XPR300™, XPR460™ | ||
| 554 | La corrente del frazionatore elettronico 3 è inferiore del 50% rispetto al punto di regolazione per almeno 50 millisecondi, e il punto di regolazione è superiore a 10A. | XPR460 |
