この情報を使用して、ホース、ケーブル、リードをクーラーに接続します。
- プラズマ電源装置を所定位置に配置する
- システムコンポーネントを接地する
- ホース、ケーブル、リードを準備する
- クーラー背面にあるコネクターを示す画像を参照してください。
図 1. クーラーの背面のコネクター
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クーラント供給側からガス接続コンソールへ |
| 2 |
ガス接続コンソールからクーラントリターンへ |
| 3 |
クーラント供給側からプラズマ電源装置へ |
| 4 |
プラズマ電源装置からクーラントリターンへ |
| 5 |
プラズマ電源装置から 220 VAC 電源へ |
| 6 |
不使用 |
| 7 |
不使用 |
| 8 |
プラズマ電源装置から コントローラーエリアネットワーク (CAN) へ |
| 9 |
CAN からガス接続コンソールへ |
-
クーラントホースアセンブリをプラズマ電源装置からクーラーに接続します。
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赤色の線が入ったクーラントリターンホースを赤色の線が入ったクーラントリターンフィッティングに接続します。
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緑色の線が入ったクーラント供給ホースを緑色のクーラント供給フィッティングに接続します。
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クーラントホースアセンブリをガス接続コンソールからクーラーに接続します。
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赤色の線が入ったクーラントリターンホースを赤色の線が入ったクーラントリターンフィッティングに接続します。
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緑色の線が入ったクーラント供給ホースを緑色のクーラント供給フィッティングに接続します。
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220 VAC 電源ケーブルのメス型ケーブルコネクターをプラズマ電源装置からクーラーに接続します。
注:
これらの接続は指で締め、工具は使用しないでください。
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両方の CAN ケーブルを接続します。
注:
これらの接続は指で締め、工具は使用しないでください。
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一方の CAN ケーブルのオス型ケーブルコネクターをガス接続コンソールからクーラーに接続します。
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もう一方の CAN ケーブルのメス型ケーブルコネクターをプラズマ電源装置からクーラーに接続します。
図 2. クーラー背面の接続の完了
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クーラント供給側からガス接続コンソールへ |
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ガス接続コンソールからクーラントリターンへ |
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クーラント供給側からプラズマ電源装置へ |
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プラズマ電源装置からクーラントリターンへ |
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プラズマ電源装置から 220 VAC 電源へ |
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不使用 |
| 7 |
不使用 |
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プラズマ電源装置から CAN へ |
| 9 |
CAN からガス接続コンソールへ |