通信距離要件

プラズマ電源装置は、各コンソール通信デバイスから指定された最大距離を超えないようにしてください。

表 1. プラズマ電源装置とコントローラーとの間の最大距離
通信タイプ 距離
ワイヤレス 障害物のない最大半径は 30.5 m (100 フィート) です。1
EtherCAT®2 最大 75 m (246.1 フィート)
ディスクリート 2 最大 75 m (246.1 フィート)
シリアル RS-4222 最大 75 m (246.1 フィート)
1 障害物がある、または 30.5メートル (100 フィート) を超える距離があると、プラズマ電源装置とワイヤレス装置間の通信に影響が出ることがあります。
2 視距離要件については、ガス接続コンソールのコンフィギュレーション (設定)、ガス接続コンソールのコンフィギュレーション (設定)、または ガス接続コンソールのコンフィギュレーション (設定) を参照してください。