플라즈마 전원 공급장치 내부, 공압 및 팬

공압 및 팬 시스템 다이어그램.
항목 키트 번호 설명
1 428732 키트: 1/4 NPT 벌크헤드 피팅 및 에어 필터용 너트
2 428684 키트: 가스 호스 어셈블리(금속 가드, 필터 볼, 필터 요소 및 가스 호스 포함)
3 428675 키트: 가스 공급 호스 2개
4 428630 키트: 솔레노이드 밸브 어셈블리(밸브 포함 인쇄 회로 기판(PCB), 배선 하네스 및 양쪽 가스 공급 호스) (지정자: V1)
5 428687 키트: 1상 모델용 팬 어셈블리(지정자: M1)
5 528143 키트: 3상 모델용 팬 어셈블리(지정자: M1)
6 428734 키트: 팬용 플레넘
7 428250 키트: 90° 피팅