램프 업 상태(11) 램프 업 상태(11) 중 시스템은 전류와 가스 흐름을 올바른 설정값까지 증가시킵니다. 램프 업 상태(11)가 올바르게 완료되면 작업은 정상 상태(12)에서 계속 진행됩니다. 문제 해결 절차는 초기 검사 단계 항목을 참조하십시오.
