Ventilzustände nach Verfahrens-ID

Tabelle mit aktivem (EIN) / inaktivem (AUS) Ventil für verschiedene Arten von Blöcken (Vorströmung, Betriebsdurchfluss, Lochstechen) und bestimmte Prozessgase.

Tabelle 1. Ventilzustände nach Verfahrens-ID
Prozess-IDs: 1001, 1002, 1003, 1004, 1005, 1151, 1152, 1153, 1155, 1156
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 7001, 7004, 7005, 7007, 7008, 7009, 7010, 7011, 7012, 7013, 7018, 7020
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/O2 Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 8001
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9001, 9010, 9018
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2051, 2054, 2057, 2100, 8004, 8005, 8006
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2010, 2011, 2028, 2029, 2052, 2055, 2058
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/H2O Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/H2O Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus
Lochstechen N2/H2O Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2053, 2056, 2059, 2060, 2061, 2062, 2063, 2064, 2065, 2066
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Gemisch/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Lochstechen Gemisch/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Prozess-IDs: 1201, 1203, 1206, 1251, 1252, 1253, 1254, 1255, 1281, 1282, 1283, 1284, 1285, 1286, 1287
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1051, 7014, 7015
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/O2 Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/O2 Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/O2 Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1101, 1102
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1103, 1104, 1105, 1106, 1107
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 7002, 7003, 7006
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/O2 Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2001, 2002, 2003, 2004, 2005
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss F5/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus
Lochstechen F5/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2006, 2007, 2012, 2013, 2014, 2015, 2024, 2025, 2026
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2008, 2009
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Luft/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Luft/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2016, 2017, 2018, 2019
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Luft/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Luft/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2020, 2021, 2022, 2023
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss F5/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus
Lochstechen F5/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9004, 9005, 9006, 9014, 9015, 9016, 9017
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 8007, 8010
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9007, 9019
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9008
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9002, 9003, 9009
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1202, 1204
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2027, 2101
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Luft/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Luft/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 8002
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1205
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Ar Ein Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1207
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9011, 9012, 9013
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1060, 1061, 7016, 7017
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1157
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Ar Ein Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 7019
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/O2 Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/O2 Ein Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1288
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Luft Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Ar Ein Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 1289
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Luft Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss O2/Ar Ein Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen O2/Ar Ein Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 2071, 2073, 2075
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Betriebsdurchfluss Gemisch/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Lochstechen Gemisch/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Prozess-IDs: 2072, 2074
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Betriebsdurchfluss Gemisch/N2 Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Lochstechen Gemisch/Ar Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Prozess-IDs: 2076
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/Ar Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Betriebsdurchfluss Gemisch/Ar Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Lochstechen Gemisch/Ar Ein Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Aus Ein Aus Aus Aus Ein Ein Ein
Prozess-IDs: 8011
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen N2/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Prozess-IDs: 9020, 9021
Blocktyp Gas V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
Vorströmung Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Betriebsdurchfluss Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus
Lochstechen Ar/N2 Aus Aus Ein Aus Aus Ein Aus Aus Aus Aus Ein Ein Aus Aus Aus Aus Aus Aus