LED 表示ランプ

この画像はコントロールパネルのアイコンを示しています。
この画像は電源オン (ON) アイコンを示しています。

電源オン (ON) 発光ダイオード (LED) (緑色)

この LED が点灯している場合は、電源スイッチがオン (ON) (I) にセットされており、システムが切断の準備ができていることを意味します。

この画像はガス圧力のアイコンを示しています。

ガス圧力 LED (黄色)

このエラー LED が点灯している場合は、ガス注入口圧力が低すぎるか、注入口ガス接続がないことを示しています。「エラーアイコンとエラーコード」を参照してください。

この画像は、システムエラーアイコンを示しています。

システムエラー LED (黄色)

点灯している場合は、このエラー LED はプラズマ電源装置にエラーが発生していることを示しています。多くの場合、このランプが点灯していると、2 桁のエラーコードもディスプレイに点滅します。「エラーアイコンとエラーコード」を参照してください。

この画像は、トーチキャップのアイコンを示しています。

トーチキャップ LED (黄色)

点灯している場合、このエラー LED は、消耗部品がゆるんでいるか、取り付け不良、または取付けられていないことを示しています。「エラーアイコンとエラーコード」を参照してください。

この画像は温度アイコンを示しています。

温度 LED (黄色)

点灯している場合、このエラー LED は、システムの温度が許容範囲外になっていることを示しています。「エラーアイコンとエラーコード」を参照してください。

この画像はサービスアイコンを示しています。

サービス LED

この LED は、資格のあるサービス技術者がプラズマ電源装置のトラブルシューティングに使用します。

注:

エラーの状態によっては、複数の LED が同時に点灯したり、点滅したりすることがあります。エラーの状態および解除方法に関する情報は、「エラーアイコンとエラーコード」を参照してください。