480 V CSA 3 相プラズマ電源装置機能の概要

交流 (AC) 電源スイッチ (S1) から入力ダイオードブリッジ (D48) を通って、電流がシステムに入ります。

ダイオードブリッジからの電圧が 力率修正 (PFC) ブーストコンバーターを提供し、これにより公称電圧 670 VDC のバス電圧を供給します。

そしてバスワイヤーがインバータと電源 プリント回路基板 (PCB) (PCB3) のフライバック回路電源装置 (直流 (DC) から DC へのコンバーター) に電圧と電流を供給します。電源 PCB はノイズ抑制とスパイク保護を提供します。電源基板の抵抗器とリレーにより、「ソフトスタート」が実施されます。

インバータは、デュアル 絶縁ゲートバイポーラトランジスター (IGBT) パッケージ (Q1)、電力変圧器、出力電流センサー、制御回路から構成されます。インバータは、絶縁変圧器を駆動するパルス幅を調整されたハーフブリッジ回路として動作します。絶縁変圧器の出力は、出力ブリッジ (Q10) により整流されます。

出力回路は、電源 PCB にある 2つの電流センサー、パイロットアーク IGBT (Q10 モジュール内)、出力チョークで構成されます。

電源 PCB の デジタル信号プロセッサー (DSP) はシステムの操作と安全回路を監視して調整します。ディスプレイ PCB (PCB1) 上の調整ノブを使用して、出力電流を 9A ～ 45A の間で目的の値に設定します。システムは、電流センサーを監視し、インバータ IGBT (Q1) のパルス幅出力を調整することにより、設定点と出力電流を比較します。