エアフィルター容器とフィルターエレメントを交換する

プラズマ電源装置ではガスラインを清潔に保つことが非常に重要です。

  1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
  2. エアフィルター容器を外すには、金属のガードのネジをゆるめて、プラズマ電源装置内部のフィルターアセンブリから金属ガードを外します。
    画像はエアフィルターがねじれていることを示しています。
  3. 金属製のガードからエアフィルター容器を取り外します。
  4. フィルターエレメントをそっと回してフィルター容器から引き出します。

    容器の上部の O リングを傷つけないように注意してください。

    この画像は、分解されたエアフィルター容器を示しています。
  5. プラスチック製フィッティングを1/4ほど回して、外します。

    フィッティングを脇に置きます。

    この画像は、2 つのプラスチックフィッティングから取り外したエアフィルターを示しています。
  6. 新しいエアフィルターエレメントをプラスチック製フィッティング内に収めます。

    プラスチックのフィッティングの両方がロックされるように、プラスチックのフィッティングを 1/4 ほど回します。

    この画像は、プラスチック製フィッティングで囲まれた新しいエアフィルターを示しています。
  7. 油や汚れ、その他の汚染物質をふき取ってエアフィルター容器をきれいにします。
    注:

    フィルター容器内の黄色の付着物は、油分がガス供給管内に入り込んでいる兆候であるかもしれません。

  8. O リングを点検して、亀裂やその他の損傷が見られる場合は交換してください。
  9. O リングをフィルター容器の上部に置きます。
    O リング付きのエアフィルターの番号
  10. エアフィルターエレメントをエアフィルター容器内に収めます。

    上部のプラスチックフィッティングを、カチッという音が聞こえるまで押し下げます。

  11. エアフィルター容器を金属ガードの内側に置きます。
  12. プラズマ電源装置内のエアフィルターアセンブリ内にエアフィルター容器を戻し、金属ガードのネジを締めます。

    金属製のガードをまっすぐに保ち、取り付け時にスレッドを損傷しないようにしてください。

    この画像は、プラズマ電源装置にネジで留められたエアフィルターを示しています。
  13. ガス供給を再接続します。
  14. 電源コードを接続し直します。
  15. 電源スイッチをオン (I) の位置にします。