エアフィルターの取り外し

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
  2. エアフィルター容器を取り外します。

    「エアフィルター容器とフィルターエレメントを交換する」を参照してください。

  3. エアフィルターの脇からガスホースをプッシュして外します。
  4. 背面パネルの外側から、真ちゅう製のバルクヘッド フィッティングのからナットを外します。
  5. 背面パネルからエアフィルターアセンブリを引き出します。
  6. エアフィルターから接地ワイヤーを外します。
  7. エアフィルターの脇から真鍮のバルクヘッドフィッティングをプッシュして外します。
    画像は、ガスシステムコンポーネントを備えたプラズマ電源の背面パネルを示しています。
    1 エアフィルター容器とエアフィルター
    2 ガスホース
    3 エアフィルター本体
    4 ガス接続ナット
    5 真鍮バルクヘッドフィッティング
    6 接地ワイヤー
    7 エアフィルター接続部の真鍮バルクヘッド側