ソレノイドバルブを取り外す
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次の手順を行います。
- 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
- プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
- ファンとファン側板の取り外し。
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ソレノイドバルブアセンブリから 2 本のガス供給ホースを押し外します。
注:
エアフィルターアセンブリからガス供給ホースを取り外し、ホースも交換する場合は、 90° フィッティングも取り外します。
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電源 プリント回路基板 (PCB) の J8 からのソレノイドバルブコネクターを取り外します。
センターパネルパススルーとプラスチックのクリップからワイヤーを外します。
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ソレノイドバルブアセンブリの下でセンターパネルからリリースするためにそれを押し上げます。
プラスチックハウジングを押して、バルブを取り外します。 バルブアセンブリ PCB を押さないでください。
