ソレノイドバルブを取り外す

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. ファンとファン側板の取り外し。
  2. ソレノイドバルブアセンブリから 2 本のガス供給ホースを押し外します。
    注:

    エアフィルターアセンブリからガス供給ホースを取り外し、ホースも交換する場合は、 90° フィッティングも取り外します。

  3. 電源 プリント回路基板 (PCB) の J8 からのソレノイドバルブコネクターを取り外します。

    センターパネルパススルーとプラスチックのクリップからワイヤーを外します。

  4. ソレノイドバルブアセンブリの下でセンターパネルからリリースするためにそれを押し上げます。

    プラスチックハウジングを押して、バルブを取り外します。 バルブアセンブリ PCB を押さないでください。

    この画像は、番号付きの回路基板を示しています。