400 V CE/CCC 3 相プラズマ電源装置機能の概要

交流 (AC) 電源スイッチ (S1) から入力ダイオードブリッジ (D48) を通って、電流がシステムに入ります。ダイオードブリッジからの電圧が 力率修正 (PFC) ブーストコンバーターを提供し、これにより公称電圧 560 VDC のバス電圧を供給します。そしてバスワイヤーがインバータと電源 プリント回路基板 (PCB) (PCB3) のフライバック回路電源装置 (直流 (DC) から DC へのコンバーター) に電圧と電流を供給します。電源基板はノイズ抑制とスパイク保護を提供します。電源 PCB の抵抗器とリレーにより、「ソフトスタート」が実施されます。

インバータは、デュアル 絶縁ゲートバイポーラトランジスター (IGBT) パッケージ (Q1)、電力変圧器、出力電流センサー、制御回路から構成されます。インバータは、絶縁変圧器を駆動するパルス幅を調整されたハーフブリッジ回路として動作します。絶縁変圧器の出力は、出力ブリッジ (Q10) により整流されます。

出力回路は、電源 PCB にある 2つの電流センサー、パイロットアーク IGBT (Q10 モジュール内)、出力チョークで構成されます。

電源 PCB の デジタル信号プロセッサー (DSP) はシステムの操作と安全回路を監視して調整します。ディスプレイ PCB (PCB1) 上の調整ノブを使用して、出力電流を 9A ～ 45A の間で目的の値に設定します。システムは、電流センサーを監視し、インバータ IGBT (Q1) のパルス幅出力を調整することにより、設定点と出力電流を比較します。