内部の点検を実施する
プラズマ電源装置の内部を見て、損傷の兆候がないか調べます。
- 電源スイッチをオフ (O) の位置にし、電源から電源コードを外します。
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プラズマ電源装置のハンドルとカバーを取り外します。
プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す を参照してください。
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コンポーネントバリアを取り外します。
コンポーネントバリアを取り外します。 を参照してください。
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プラズマ電源装置の内部を点検する:
- 電源 プリント回路基板 (PCB) 側: 配線の接続部分の破損や緩み、焼け焦げの跡、コンポーネントの損傷がないか探します。
- ファン側: エアフィルターとソレノイドバルブの各空気圧 (ガス) 接続点でリークや接続のゆるみがないか探します。
- 必要に応じてコンポーネントの修理や交換を行います。
