背面パネルの取り付け
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電源コードの接地ワイヤーをヒートシンクに取り付けます。
2.3 N・m (20 lbf・in) で締め付けます。
- 残りの電源コードワイヤーを、センターパネルスロットに通します。
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電源コードリードを適切な端子に取り付けます。
2.3 N・m (20 lbf・in) で締め付けます。
図 1. 電源コードの接続ポイント 1 電源コードの接地ワイヤーからヒートシンクへ 2 電源コード パススルー 3 CSA 単相 4 CE/CCC 単相 5 CSA 3 相 6 CE/CCC 3 相 -
単相モデルの場合は、2 本のワイヤーを接続します:
- CSA モデル: ワイヤーは黒 (BLK) と白 (WHT) です。
- CE/CCC モデル: ワイヤーは茶 (BRN) と青 (BLU) です。
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3 相モデルの場合は、3 本のワイヤーを接続します:
- CSA モデル: ワイヤーは白 (WHT)、赤 (RED)、黒 (BLK) です。
- CE/CCC モデル: ワイヤーは青色 (BLU)、茶色 (BRN) 灰色 (GRY) です。
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単相モデルの場合は、2 本のワイヤーを接続します:
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マシンインターフェイス ポートが取り付けられている場合は、2 本のネジを使用して接続します。
1.1 N・m (10 lbf・in) で締め付けます。
1 ガス供給ホース 2 接地線クリップ 3 接地ワイヤー 4 マシンインターフェイス ポートのネジ - RS-485 プリント回路基板 (PCB) が取り付けられている場合は RS-485 基板にシリアルインターフェイスケーブルを取り付けます。
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エアフィルターアセンブリに接地ワイヤーを接続します。
2.3 N・m (20 lbf・in) で締め付けます。
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背面パネルアセンブリを所定の位置にスナップします。
パネルを再度取り付ける際、ワイヤーが挟まれていないことを確認します。
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エアフィルターアセンブリにガス供給ホースをプッシュ接続します。
目印のラインがコネクターに到達するまでホースを差し込んでください。ループの底がファンの左側でプラスチックのシェルフに収まるようにします。
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ループしたガス供給ホースがねじれていないか確認します。
注:
ガス供給ホースがねじれていたら、そのホースは廃棄し、新しいホースに交換します。ホースがねじれていると、ホースの機能は損なわれます
- 接地クリップを背面パネルにプラスチックのタブで再度取り付けます。
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次の手順を行います。
- プラズマ電源装置のカバーとハンドルを取り付ける。
- ガス供給と電源コードを再接続します。
