ワークリードレセプタクルの取り外し

図 1. ワークリード レセプタクルの構成部品
画像は、ワークリード レセプタクル アセンブリの分解図です。
1 ワークリードレセプタクル 4 ワッシャ
2 内部歯付ロックワッシャ 5 ワッシャ
3 ナット 6 ネジ
  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. コンポーネントバリアを取り外します。。
    4. 前面パネルを緩めます。。
  2. ワークリードレセプタクルを前面パネルに固定しているナットを外します。
  3. 前面パネルからワークリードレセプタクルを外します。
    図 2. 前面パネルにあるワークリード レセプタクルのコンポーネント
    画像は、前面パネルのワークリード レセプタクル コンポーネントの組み立て順序を示しています。
    1 ワークリードレセプタクル
    2 内部歯付ロックワッシャ
    3 ナット
    4 ワッシャ
    5 ワッシャ
    6 ネジ
    7 電源からのワークリード線 プリント回路基板 (PCB)