ワークリードレセプタクルの取り付け
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新しいワークリードレセプタクルを前面パネルの所定の位置に配置します。
(電源装置の前面に向かって) 右にノッチが来るようにレセプタクルを配置します。詳しくは 前面パネルにあるワークリード レセプタクルのコンポーネント を参照してください。
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ワークリードレセプタクルの背面にナットとワッシャを取り付けます。
1/2 インチのレンチを使用します。10.2 N・m (90 lbf・in) で締め付けます。
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次の手順を行います。
- 前面パネルの取り付け。
- コンポーネントバリアを取り付ける。
- プラズマ電源装置のカバーとハンドルを取り付ける。
- 電源コードを接続し直します。
- ガス供給を再接続します。
