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配線図
ガスシステム2 CorePlus (シート14/23)

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配線図
- 配線図シンボルの規則
- 操作中のバルブステート
  切断システム操作の各段階では、異なったバルブがアクティブ (オン) (ON) またはインアクティブ (オフ) (OFF) になります。バルブのアクティブまたはインアクティブは、ガス接続コンソールの種類と、アクティブなプロセスの種類とタイミングによって変わります。
- 概要 (シート1/23)
- プラズマ電源装置1 (シート2/23)
- プラズマ電源装置2 (シート3/23)
- プラズマ電源装置3 (シート4/23)
- プラズマ電源装置4 (シート5/23)
- プラズマ電源装置5 (シート6/23)
- プラズマ電源装置6 (シート7/23)
- プラズマ電源装置7 (シート8/23)
- ガス接続コンソール1 (シート9/23)
- ガス接続コンソール2 (シート10/23)
- TorchConnectコンソール (シート11/23)
- クーラントシステム (シート12/23)
- ガスシステム1 Core (シート13/23)
- ガスシステム2 CorePlus (シート14/23)
- ガスシステム 3 VWI (シート15/23)
- ガスシステム4 OptiMix (シート16/23)
- EtherCATマルチドロップ (マルチシステム) インターフェース (シート17/23)
- シリアルRS-422とディスクリートマルチドロップ (マルチシステム) インターフェース (シート18/23)
- ディスクリートマルチドロップ (マルチシステム) インターフェース (シート19/23)
- EDGE ConnectへのEtherCAT接続 (シート20/23)
- ディスクリートとシリアルRS-422 CNC接続 (シート21/23)
- ディスクリートCNC接続 (シート 22/23)
- ワイヤレスサブシステムのブロック図 (シート 23/23)

ガスシステム2 CorePlus (シート14/23)