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配線図
クーラー (シート 12/25)

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部品リスト
配線図
- 配線図シンボルの規則
- 操作中のバルブステート
  切断システム操作の各段階では、異なったバルブがアクティブ (オン) (ON) またはインアクティブ (オフ) (OFF) になります。バルブのアクティブまたはインアクティブは、ガス接続コンソールの種類と、アクティブなプロセスの種類とタイミングによって変わります。
- 概要 (シート 1/25)
- プラズマ電源装置 1 (シート 2/25)
- プラズマ電源装置 2 (シート 3/25)
- プラズマ電源装置 3 (シート 4/25)
- プラズマ電源装置 4 (シート 5/25)
- プラズマ電源装置 5 (シート 6/25)
- プラズマ電源装置 6 (シート 7/25)
- プラズマ電源装置 7 (シート 8/25)
- ガス接続コンソール 1 (シート 9/25)
- ガス接続コンソール 2 (シート 10/25)
- TorchConnect™ コンソール (シート 11/25)
- クーラー (シート 12/25)
- クーラントシステム 1 (シート 13/25)
- クーラントシステム 2 (シート 14/25)
- ガスシステム 1 Core™ (シート 15/25)
- ガスシステム 2 CorePlus™ (シート 16/25)
- ガスシステム 3 VWI™ (シート 17/25)
- ガスシステム 4 OptiMix™ (シート 18/25)
- EtherCAT® マルチドロップ (マルチシステム) インターフェイス (シート 19/25)
- シリアル RS-422 とディスクリートマルチドロップ (マルチシステム) インターフェイス (シート 20/25)
- ディスクリートマルチドロップ (マルチシステム) インターフェイス (シート 21/25)
- EDGE® Connect への EtherCAT® 接続 (シート 22/25)
- ディスクリートとシリアル RS-42222 コンピュータ数値制御 (CNC) 接続 (シート 23/25)
- ディスクリートコンピュータ数値制御 (CNC) 接続 (シート 24/25)
- ワイヤレスサブシステムのブロック図 (シート 25/25)

クーラー (シート 12/25)