400V CE/CCC 3상 플라즈마 전원 공급장치의 기능 설명

교류(AC) 전원은 전원 스위치(S1)를 통해 입력 다이오드 브리지(D48)로 시스템에 들어갑니다. 다이오드 브리지의 전압은 역률 보정(PFC) 초크에 공급되며, 이 초크는 정격 560VDC 버스 전압을 제공합니다. 그리고 버스 와이어는 전원 인쇄 회로 기판(PCB) (PCB3)의 인버터와 플라이백 회로 전원 공급장치(직류(DC)~DC 컨버터)에 전압과 전류를 공급합니다. 배전반은 잡음 억제와 스파이크 보호 기능을 제공합니다. 'soft start (소프트 스타트)'는 전원 PCB 저항기와 계전기를 통해 실행됩니다.

인버터는 듀얼 절연 게이트 양극성 트랜지스터(IGBT) 패키지(Q1), 전원 변압기, 출력 전류 센서, 제어 회로로 구성됩니다. 인버터는 절연 변압기를 구동하는 펄스 폭 변조 하프 브리지 회로로 작동합니다. 절연 변압기의 출력은 출력 브리지(Q10)에 의해 정류됩니다.

출력 회로는 전원 PCB, 파일럿 아크 IGBT (Q10 모듈 내부) 및 출력 초크에 위치한 2개의 전류 센서로 구성됩니다.

전원 PCB에 있는 디지털 신호 프로세서(DSP)은(는) 시스템 작동 및 안전 회로를 모니터링하고 조절합니다. 디스플레이 PCB (PCB1)에 있는 조절 손잡이는 9A~45A 사이에서 원하는 출력 전류 값을 설정하는 데 사용됩니다. 시스템은 전류 센서를 모니터링하고 IGBT (Q1) 인버터의 펄스 폭 출력을 조절하고 해당 설정값을 출력 전류와 비교합니다.