후면 패널 부착

  1. 전원 코드 접지 와이어를 열발산판에 부착합니다.

    2.3N∙m (20lbf·인치)의 힘으로 조입니다.

  2. 남은 전원 코드 와이어를 중앙 패널 슬롯에 연결합니다.
  3. 전원 코드 리드를 해당 단자에 연결합니다.

    2.3N∙m (20lbf·인치)의 힘으로 조입니다.

    그림 1. 전원 코드 연결 지점
    1 전원 코드 접지 와이어에서- 열발산판까지
    2 전원 코드 통과
    3 CSA 1상
    4 CE/CCC 1상
    5 CSA 3상
    6 CE/CCC 3상
    1. 1상 모델의 경우 와이어 2개를 연결합니다:
      • CSA 모델: 해당 와이어는 검은색(BLK)과 흰색(WHT)입니다.
      • CE/CCC 모델: 해당 와이어는 갈색(BRN)과 파란색(BLU)입니다.
    2. 3상 모델의 경우, 와이어 3개를 연결:
      • CSA 모델: 해당 와이어는 흰색(WHT), 빨간색(RED), 검은색(BLK)입니다.
      • CE/CCC 모델: 해당 와이어는 파란색(BLU), 갈색(BRN), 회색(GRY)입니다.
  4. 이미 설치한 경우, 나사 2개로 머신 인터페이스 포트를 연결합니다.

    1.1N∙m (10lbf·인치)의 힘으로 조입니다.

    후면 패널 내부 부품의 이미지.
    1 가스 공급 호스
    2 접지 클립
    3 접지 와이어
    4 머신 인터페이스 포트 나사
  5. 이미 설치된 경우, 직렬 인터페이스 케이블을 RS-485 인쇄 회로 기판(PCB)에 연결합니다.
  6. 접지 와어를 공기 필터 어셈블리에 연결합니다.

    2.3N∙m (20lbf·인치)의 힘으로 조입니다.

  7. 후면 패널 어셈블리를 다시 제자리에 끼워 넣습니다.

    패널을 다시 제자리에 놓을 때 와이어가 꺾이지 않도록 주의하세요.

  8. 루프형 가스 공급 호스를 공기 필터 어셈블리에 밀어 넣어서 연결합니다.

    표시된 선이 커넥터에 도달할 때까지 호스를 충분히 삽입합니다. 고리의 바닥은 팬 왼쪽에 있는 플라스틱 선반에 놓여 있어야 합니다.

  9. 고리형 가스 공급 호스가 꺾이지 않도록 확인하세요.
    주:

    가스 공급 호스가 꺾인 경우, 폐기하고 새 호스로 교체하세요. 호스가 꺾이면 호스의 완전성이 손상됩니다.

  10. 접지 클립을 후면 패널의 플라스틱 탭에 다시 끼웁니다.
  11. 다음 절차를 완료합니다. 즉:
    1. 플라즈마 전원 공급장치 덮개와 손잡이 설치하기.
    2. 가스 공급장치와 전원 코드를 다시 연결합니다.