접촉기 검사

  1. 접촉기에 검거나 거친 표면이 없는지 검사하십시오.
    • XPR170® 에 대해 주 접촉기를 검사합니다.
      그림 1. XPR170의 주 접촉기 위치
      이 이미지는 XPR170 플라즈마 전원공급장치의 주 접촉기 위치를 보여 줍니다.
      1 주 접촉기
    • XPR300® 에 대해 주 접촉기 및 돌입 접촉기를 검사합니다.
      그림 2. XPR300에 대한 주 접촉기 및 돌입 접촉기 위치
      이 이미지는 XPR300 플라즈마 전원공급장치의 주 접촉기 및 돌입 접촉기 위치를 보여 줍니다.
      1 주 접촉기
      2 유입 접촉기
    • XPR460® 에 대해 주 접촉기 및 돌입 접촉기를 검사합니다.
      그림 3. XPR460에 대한 주 접촉기 및 돌입 접촉기 위치
      이 이미지는 XPR460 플라즈마 전원공급장치의 주 접촉기 및 돌입 접촉기 위치를 보여 줍니다.
      1 주 접촉기
      2 유입 접촉기
  2. 원치 않는 검은색 또는 거친 표면이 있는 접촉기를 발견하면 접촉기를 교체합니다.