ガス入力フィッティングの取り付け

図 1. ガス入口フィッティング付き背面パネル
画像はガス継手のある背面パネルを示しています。
1 1/4 NPT クイックディスコネクトニップル
2 G-1/4 BSPP アダプター
3 ナット
4 真鍮バルクヘッドフィッティング
5 エアフィルター
  1. 真鍮バルクヘッドフィッティングを背面パネルの内側の所定の位置に取り付けます。

    フィッティングが背面パネルに押し込まれていることを確認してください。

  2. ナットを背面パネルの外部から真鍮のバルクヘッドフィッティングに取り付けます。
  3. 13.5N・m (120lbf・in) で締め付けます。
  4. 真鍮のバルクヘッドフィッティングにエアフィルターを押し付けて接続します。
  5. 必要に応じてスレッドシーラントを塗布します。
    フィッティングスレッドシーラント
    G-1/4 BSPP アダプター スレッドシーラントを薄く塗ります。2 – 3 のネジ山にスレッドシーラントを 塗ります。ガスラインへの汚染を防ぐには、シーラントを塗り過ぎないことです。
    1/4 NPT クイックディスコネクトニップル スレッドシーラントはあらかじめ塗布されています。
  6. 真鍮のバルクヘッドフィッティングにガス入力フィッティングを取り付けます。
    フィッティングトルク
    G-1/4 BSPP アダプター 10.2 N・m (90 lbf・in) で締め付けます。
    1/4 NPT クイックディスコネクトニップル 11.3 N・m (100 lbf・in) で締め付けます。
  7. 次の手順を行います。
    1. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを取り付ける。
    2. ガス供給を再接続します。
    3. 電源コードを接続し直します。