プロセスの種類別のバルブステートID

表には、特定のプロセスにおいて、さまざまな種類のブロック (プリフロー、カットフロー、ピアシング) およびガスに対して、バルブがアクティブ (ON) か非アクティブ (OFF) かが示されています。

表 1. プロセスの種類別のバルブステートID
プロセスID：1001、1002、1003、1004、1005、1151、1152、1153、1155、1156
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：7001、7004、7005、7007、7008、7009、7010、7011、7012、7013、7018、7020
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/O2 オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：8001
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9001、9010、9018
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2051、2054、2057、2100、8004、8005、8006
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2010、2011、2028、2029、2052、2055、2058
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/H2O オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オフ オフ
カットフロー N2/H2O オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オフ オフ
ピアッシング N2/H2O オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オフ オフ
プロセスID：2053、2056、2059、2060、2061、2062、2063、2064、2065、2066
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：1201、1203、1206、1251、1252、1253、1254、1255、1281、1282、1283、1284、1285、1286、1287
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1051、7014、7015
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/O2 オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/O2 オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/O2 オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1101、1102
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1103、1104、1105、1106、1107
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：7002、7003、7006
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/O2 オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2001、2002、2003、2004、2005
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オン オフ オフ オフ オフ
カットフロー F5/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オフ
ピアッシング F5/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2006、2007、2012、2013、2014、2015、2024、2025、2026
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2008、2009
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー エア/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング エア / N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2016、2017、2018、2019
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー エア/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング エア/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2020、2021、2022、2023
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オン オフ オフ オフ オフ
カットフロー F5/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オフ
ピアッシング F5/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9004、9005、9006、9014、9015、9016、9017
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：8007、8010
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9007、9019
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9008
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/エア オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9002、9003、9009
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1202、1204
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2027、2101
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー エア/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング エア/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：8002
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1205
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/Ar オン オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1207
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9011、9012、9013
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1060、1061、7016、7017
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1157
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/Ar オン オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：7019
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/O2 オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/O2 オン オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1288
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/Ar オン オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：1289
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/Ar オン オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/Ar オン オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：2071、2073、2075
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オン オン オン
カットフロー 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：2072、2074
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オン オン オン
カットフロー 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/Ar オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：2076
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/Ar オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オン オン オン
カットフロー 混合/Ar オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/Ar オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：8011
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：9020、9021
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング Ar/N2 オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：3001、3006
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：3011
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オン オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オン オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：3012
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/エア オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ オフ
カットフロー O2/エア オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
ピアッシング O2/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オフ オン オン オフ オフ オフ オフ オフ
プロセスID：3016
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オン オン オン
カットフロー 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：3021
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オン オン オン
カットフロー 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：3026
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/N2 オフ オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オフ オン オン オフ オフ オフ オン オン オン
カットフロー 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
ピアッシング 混合/N2 オン オフ オン オフ オフ オフ オフ オン オフ オン オフ オン オフ オフ オフ オン オン オン
プロセスID：2082
ブロックの種類 ガス V1 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 B1 B2 B3 B4 B5 B8 B9 B10
プリフロー N2/H2O オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オフ オフ
カットフロー N2/H2O オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オフ オフ
ピアッシング N2/H2O オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オフ オン オン オフ オフ オン オフ オフ オフ