システムコンポーネントの内部表面を清掃する

プラズマ電源装置、クーラー (該当する場合)、ガス接続コンソール、 TorchConnect コンソールの内面のほこりや粒子を取り除きます。

  1. 切断システムの電源を切ります:
    1. 回線遮断器のスイッチをオフ (OFF) の位置にします。
    2. 次のシステムコンポーネントの電源インジケーター 発光ダイオード (LED) が点灯していないことを確認します:
      • プラズマ電源装置
      • クーラー (該当する場合)
      • ガス接続コンソール
      • TorchConnect コンソール
  2. プラズマ電源装置の両側の側面パネルを外します。
  3. クーラーから両側の側面パネルを取り外します (該当する場合)。
  4. ガス接続コンソールから上部パネルを外します。
  5. TorchConnect コンソールから上部パネルを外します。
  6. 低圧エアまたはバキュームで、次の場所からほこりや粒子を取り除きます:
    • サイドパネル
    • ファン
    • 熱交換器
    • 埃や粒子が付着している内部表面すべて
  7. プリント回路基板 (PCB)から埃や粒子を注意深く取り除きます。
  8. 切断システムに電源を入れるに、すべての外部コンポーネントを取り付けます。