システムコンポーネントの内部表面を清掃する
プラズマ電源装置、クーラー (該当する場合)、ガス接続コンソール、 TorchConnect™ コンソールの内面のほこりや粒子を取り除きます。
-
切断システムの電源を切ります:
- 回線遮断器のスイッチをオフ (OFF) の位置にします。
-
次のシステムコンポーネントの電源インジケーター 発光ダイオード (LED) が点灯していないことを確認します:
- プラズマ電源装置
- クーラー (該当する場合)
- ガス接続コンソール
- TorchConnect コンソール
- プラズマ電源装置の両側の側面パネルを外します。
- クーラーから両側の側面パネルを取り外します (該当する場合)。
- ガス接続コンソールから上部パネルを外します。
- TorchConnect コンソールから上部パネルを外します。
-
低圧エアまたはバキュームで、次の場所からほこりや粒子を取り除きます:
- サイドパネル
- ファン
- 熱交換器
- 埃や粒子が付着している内部表面すべて
- 各 プリント回路基板 (PCB)から埃や粒子を注意深く取り除きます。
- 切断システムに電源を入れる前に、すべての外部コンポーネントを取り付けます。
