リレーの点検

  1. 黒ずんだり粗い表面がないか、リレーを点検します。
    • XPR170® および XPR300® の場合、プラズマ電源装置のパイロットアークリレーからカバーを取り外します。
      図 1. XPR170、XPR300 のパイロットアークリレーの位置
      この画像は、XPR170 および XPR300 プラズマ電源装置内のパイロットアークリレーの場所を示しています。
    • XPR460® の場合、プラズマ電源装置内のパイロットアークリレーとクーラー電源リレーからカバーを外します。
      図 2. XPR460 でのパイロットアークリレーとクーラー電源リレーの位置関係
      この画像は、プラズマ電源装置内のパイロットアークリレーとクーラー電源リレーの位置を示しています。
      1 パイロットアークリレー
      2 クーラー電源リレー
  2. リレーの接点を調べます。
  3. 望ましくない黒い部分やざらざらした表面を見つけた場合は、リレーを交換してください。
  4. リレーのカバーを慎重に取り付けます。
    注:

    カバーとパネルの間のワイヤーを挟まないでください。