냉각 장치 연결

이 정보를 사용하여 호스, 케이블, 리드를 냉각 장치에 연결합니다.

플라즈마 전원공급장치 정위치 배치
시스템 구성요소 접지
호스, 케이블, 리드 준비

냉각 장치 후면 커넥터를 나타낸 이미지를 참조하십시오.

이 이미지는 냉각 장치 후면 연결부를 보여 줍니다. — 그림 1. 냉각 장치 후면 커넥터

1	가스 연결 콘솔로의 냉각제 공급
2	가스 연결 콘솔로부터의 냉각제 리턴
3	플라즈마 전원공급장치로의 냉각제 공급
4	플라즈마 전원공급장치로부터의 냉각제 리턴
5	플라즈마 전원공급장치의 전원, 220VAC
6	사용되지 않음
7	사용되지 않음
8	플라즈마 전원공급장치의 컨트롤러 에어리어 네트워크(CAN)
9	가스 연결 콘솔에 연결되는 CAN

냉각제 호스 어셈블리를 플라즈마 전원공급장치의 냉각 장치에 연결합니다.

주:
냉각제 호스 어셈블리에는 녹색 밴드가 있는 냉각제 공급 호스 1개와 적색 밴드가 있는 냉각제 리턴 호스 1개가 포함되어 있습니다.

길이 및 부품 번호는 냉각제-호스 어셈블리(냉각 장치-플라즈마 전원공급장치) 항목을 참조하십시오.
1. 빨간색 밴드가 있는 냉각제 리턴 호스를 빨간색 냉각제 리턴 피팅에 연결합니다.
2. 녹색 밴드가 있는 냉각제 공급 호스를 녹색 냉각제 공급 피팅에 연결합니다.
냉각제 호스 어셈블리를 가스 연결 콘솔의 냉각 장치에 연결합니다.

주:
길이 및 부품 번호는 냉각제-호스 어셈블리 (냉각 장치에서 가스 연결 콘솔로) 항목을 참조하십시오.
1. 빨간색 밴드가 있는 냉각제 리턴 호스를 빨간색 냉각제 리턴 피팅에 연결합니다.
2. 녹색 밴드가 있는 냉각제 공급 호스를 녹색 냉각제 공급 피팅에 연결합니다.
220VAC 전원 케이블의 암 케이블 커넥터를 플라즈마 전원공급장치의 냉각 장치에 연결합니다.

주:
손가락을 사용하여 이러한 연결부를 조이되 공구는 사용하지 마십시오.

주:
길이 및 부품 번호는 전원 케이블, 220VAC 항목을 참조하십시오.
두 개의 CAN 케이블을 연결합니다.

주:
손가락을 사용하여 이러한 연결부를 조이되 공구는 사용하지 마십시오.

주:
길이 및 부품 번호는 CAN 케이블 항목을 참조하십시오.
1. 하나의 CAN 케이블에 있는 수 케이블 커넥터를 가스 연결 콘솔의 냉각 장치에 연결합니다.
2. 다른 CAN 케이블의 암 케이블 커넥터를 플라즈마 전원공급장치의 냉각 장치에 연결합니다.

이 이미지는 냉각 장치 후면의 연결 완료를 보여 줍니다. — 그림 2. 냉각 장치 후면에서 연결 완료하기