電源コードの取り外し (3 相モデル)

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. コンポーネントバリアを取り外します。。
    4. 背面パネルを緩める。
  2. 電源コード 3 本がセンターパネルから外れていることを確認してください。
  3. 電源コードの接地ワイヤーがヒートシンクから外れていることを確認してください。
  4. ストレインリリーフの外側のナットを外し、コードのグリップを緩めます。
  5. CE/CCC モデル: トロイドから電源コードワイヤーを巻き戻します。
  6. ストレインリリーフを通してワイヤーを引き出します。
  7. 新しい電源コードのストレインリリーフを取り付けない場合は、ストレインリリーフの内側のナットを取り外します。

    背面パネルからストレインリリーフを取り外します。

    図 1. 3 相電源コードのコンポーネント
    画像は、プラズマ電源装置の背面パネルと、その電源ケーブル コンポーネントを示しています。
    1 電源コードのワイヤー
    2 接地ワイヤー
    3 ストレインリリーフの外側のナット
    4 トロイド (CE/CCC のみ)
    5 ストレインリリーフ
    6 ストレインリリーフの内側のナット
    7 背面パネル