スナバ抵抗器の取り外し

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. コンポーネントバリアを取り外します。。
    4. 電源 PCB を取り外す。
  2. スナバ抵抗器から取り付けネジとワッシャーを取り外します。
    画像はスナバ抵抗器コンポーネントを示しています。
    1 放熱グリース
    2 スナバ抵抗器
    3 M4 X ネジ 10 個
  3. ヒートシンクからスナバ抵抗器を取り外します。
    画像はプラズマ電源のスナバ抵抗器の位置を示しています。
    1 M4 X ネジ 10 個
    2 スナバ抵抗器
    3 ヒートシンク
    4 放熱グリース