EMI PCB の取り外し

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. コンポーネントバリアを取り外します。。
  2. 電源ワイヤーネジを露出させるために 4つの絶縁カバーを引き押します。

    カバーを下にスライドさせてワイヤーが邪魔にならないようにします

  3. 4 本の電源ワイヤーリング端子を固定しているネジを取り外します。
  4. 電磁界干渉 (EMI) プリント回路基板 (PCB) をセンターパネルに固定しているネジ 2 本を外します。
    画像は 電磁界干渉 プリント回路基板 の位置を示しています。