電源コードの取り外し (単相モデル)

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. コンポーネントバリアを取り外します。。
    4. 背面パネルを緩める。
  2. 電源コード 2 本がセンターパネル (CSA モデル) または 電磁界干渉 (EMI) プリント回路基板 (PCB) (CE/CCC モデル) から外れていることを確認してください。
  3. 電源コードの接地ワイヤーがヒートシンクから外れていることを確認してください。
  4. ストレインリリーフの外側のナットを外し、コードのグリップを緩めます。
  5. CE/CCC モデル: トロイドから電源コードワイヤーを巻き戻します。
  6. ストレインリリーフを通してワイヤーを引き出します。
  7. 新しい電源コードのストレインリリーフを取り付けない場合は、ストレインリリーフの内側のナットを取り外します。

    背面パネルからストレインリリーフを取り外します。

    図 1. 単相電源コードの構成部品
    図は、プラズマ電源装置背面パネルの電源コードのストレインリリーフの位置を示しています。
    1 電源コードのワイヤー 2 本
    2 接地ワイヤー
    3 外側のナット
    4 トロイド (CE/CCC のみ)
    5 ストレインリリーフ
    6 内側のナット
    7 背面パネル