内部ワイヤーを取り外す (単相モデル)

画像はワイヤーを吹き出し付きで示しています。
1 接地ワイヤー
2 電源スイッチから、電源コード (CSA) または 電磁界干渉 (EMI) プリント回路基板 (PCB) (CE/CCC) につながるワイヤーへ
3 電源スイッチから電源 へのワイヤー PCB

これらの手順については、内部ワイヤーの取り付け (単相モデル) の画像を参照してください。

  1. 次の手順を行います。
    1. 電源スイッチをオフ (O) の位置にします。電源から電源コードを外し、ガス供給管を外します。
    2. プラズマ電源装置のカバーとハンドルを外す。
    3. コンポーネントバリアを取り外します。。
    4. 電源スイッチ (単相) を外す。
  2. 電源基板側で、電源基板から電源スイッチの黒色と白色のワイヤーを外します。
  3. ファン側から、電源スイッチの茶色と青色のワイヤーを次の箇所から外します:
    • CSA モデル：センターパネルの電源コード接続ポイント
    • CE/CCC モデル: 「SW OUT」側 EMI PCB
  4. センターパネルの接地スタッドからの 3 本の接地ワイヤーを取り外します。
    注:

    マシンインターフェイス ポートから接地ワイヤー、または RS-485 コネクターがある場合は、接地スタッドの所定位置のこれらの端子に維持します。

  5. 以下の位置から各接地ワイヤーのもう一方の終端を取り外します:
    • エアフィルターアセンブリ
    • 背面パネルの接地クリップ
    • 磁石アセンブリベースプレート