安定ステート (12)
安定ステート (12) 中、システムはクーラントフロー、ガス圧力、温度、チョッパー電流が正しいかどうかを確認します。また、選択したプロセスでプラズマスタート信号が削除されるかどうかも確認します。
安定ステート (12) は、オペレーターが送信したプロセス (ピアシング、マーキング、または切断) を使用します。
安定ステート (12) が正しく完了した場合、プロセスは ランプダウンステート (13) に進みます。
トラブルシューティングの手順については、最初の点検手順 を参照してください。