自動パージ

システムは、これらの条件を確認し、実行するパージの種類を選択します:

• 現在選択されているプロセス
• 以前に選択されたプロセス
• ガス接続コンソールの種類:
  • OptiMix™ および VWI™ 切断システムでは、ガス変更パージとプロセス設定パージの両方が行われます。
  • CorePlus™ および Core™ 切断システムでは、プロセス設定パージのみが行われます。

システムは、これらの条件から、パージを完了するために必要な時間の長さを算出します。:

• オペレーターが選択したプロセスの種類
• アクティブプなプロセスが、パワーアップステートの後に送信された最初のプロセスかどうか