Ramp-up state(渐升状态)(11)

在 Ramp-up state(渐升状态)(11) 期间,系统将电流和气流增加到正确的设定值。

该图为 Ramp-up state(渐升状态)(11) 的工艺流程图。

正确完成 Ramp-up state(渐升状态)(11) 后,将继续执行 Steady State(稳定状态)(12)

请参阅 初步检查步骤,了解故障检修流程。