Regime stabilizzato (12)

Durante la condizione di regime stabilizzato (12), il sistema effettua un controllo della portata del refrigerante, pressioni del gas, temperature e corrente dei frazionatori. Esegue anche un controllo del segnale Avvio Plasma da rimuovere per il processo selezionato.

Il regime stabilizzato (12) usa il processo inviato in precedenza dall'operatore (sfondamento, marcatura o taglio).

L'immagine mostra un diagramma di flusso del processo per lo stato il regime stabilizzato (12).

Se lo stato di regime stabilizzato (12) termina correttamente, il processo continua con Stato di chiusura graduale (13).

Consultare Passaggi di ispezione iniziali per le procedure di risoluzione guasti.