ガスフロープロセスタイムアウトのトラブルシューティング

診断コード522 ～ 525

診断コード522 ～ 525は、プリフロー、カットフロー、ガスパージプロセスの問題を特定します。


コード	症状	XPR® モデル	XPR対応方法	コードのキャンセル方法。
522	切断システムが30秒以内にプリフロー手順を完了できない。	全モデル	サイクルの終了	先頭プロセスの設定リモートオン/オフ
523	プリフローパージが45秒以内に設定値に達しない。	全モデル	なし	プロセスの設定リモートオン/オフ
524	カットフローパージが45秒以内に設定値に達しない。
525	プラズマ切断システムが45秒以内にN₂パージ手順を完了できない。プロセスが選択されなかった。