低電流のトラブルシューティング
診断コード550、552 ~ 554
診断コード550と552 ~ 554は、プラズマ電源装置の電流低下による問題を特定します。
症状
| コード | 症状 | XPR® モデル | XPR対応方法 | コードのキャンセル方法。 |
|---|---|---|---|---|
| 550 | 定常状態中の最低10ミリ秒間、合計電流は電流設定点の50%未満に減少します (設定点はプロセスタイプによって異なる場合があります)。 | 全モデル | サイクルの終了 |
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| 552 | チョッパー1電流が50ミリ秒間、設定値の50%を下回り、設定値は10 Aを上回っている。 | 全モデル | サイクルの終了 |
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| 553 | チョッパ ー2の電流が50ミリ秒間設定点の50%未満に減少し、設定点は10 Aを超えています。 | XPR300® , XPR460® | ||
| 554 | チョッパ ー3の電流が50ミリ秒間設定点の50%未満に減少し、設定点は10 Aを超えています。 | XPR460 |
