ガスフロープロセスタイムアウトのトラブルシューティング

診断コード 522 ～ 525

診断コード 522 ～ 525 は、プリフロー、カットフロー、ガスパージプロセスの問題を特定します。


コード	症状	XPR® モデル	XPR 対応方法	コードのキャンセル方法。
522	切断システムが 30 秒以内にプリフロー手順を完了できない。	全モデル	サイクルの終了	開始プロセスプロセスの設定リモートオン/オフ
523	プリフローパージが 45 秒以内に設定値に達しない。	全モデル	なし	プロセスの設定リモートオン/オフ
524	カットフローパージが 45 秒以内に設定値に達しない。
525	プラズマ切断システムが 45 秒以内に N₂ パージ手順を完了できない。プロセスが選択されなかった。