ガス入口圧力エラーが発生した場合のトラブルシューティング
診断コード 768 ~ 771
診断コード 768 ~ 771 は、ガス入口圧力が許容圧力レベルより低いと発生します。
プラズマ電源装置が電源に接続されたまま、プラズマ電源装置のパネルが取り外された状態で診断またはメンテナンス作業を行う場合は、細心の注意を払ってください。
供給ガスホースが長いとガス圧力の低下が発生しやすくなります。詳細については、以下を参照してください。
症状
| コード | 症状 | XPR® モデル | XPR 対応方法 | コードのキャンセル方法。 |
|---|---|---|---|---|
| 768 | ライン A の O2 入口圧力 (P2) が 5.52バール (80 psi) を下回る、または 8.62バール (125 psi) を上回っている。 | 全モデル | なし |
|
| 769 | ライン A の アルゴン (Ar) 入口圧力 (P1) が 5.52バール (80 psi) を下回る、または 8.62バール (125 psi) を上回っている。 | |||
| 770 | ライン B の N2 入口圧力 (P1) が 5.52バール (80 psi) を下回る、または 8.62バール (125 psi) を上回っている。 | |||
| 771 | ライン A のエア入口圧力 (P2) が 5.52バール (80 psi) を下回る、または 8.62バール (125 psi) を上回っている。 |
