有关低电流的故障检修
诊断代码 550、552 ~ 554
诊断代码 550 和 552 ~ 554 表示等离子电源电流减少的相关问题。
现象
| 代码 | 现象 | XPR® 型号 | XPR 操作方法 | 清除代码的方法 |
|---|---|---|---|---|
| 550 | 在稳态电流期间,总电流降至电流设定点 50% 以下的持续时间最少达到 10 毫秒(设定点可因工艺类型而异)。 | 所有型号 | 周期结束 |
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| 552 | 斩波器 1 电流小于设定点的 50% 并且设定点大于 10A 的持续时间达到 50 毫秒。 | 所有型号 | 周期结束 |
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| 553 | 斩波器 2 电流小于设定点 50% 的持续时间达到 50 毫秒,并且设定点大于 10 A。 | XPR300® , XPR460® | ||
| 554 | 斩波器 3 电流小于设定点的 50% 的持续时间达到 50 毫秒,并且设定点大于 10 A。 | XPR460 |
